長沙專業美國AE公司40KHZ中頻磁控濺射電源

湖南匯鑫電力成套有限公司專門維修美國ae中頻電源電源

一、用途：

主要用于半導體、太陽能電池生產線中的pecvd設備、等離子體鍍膜設備、離子刻蝕設備及薄膜材料改性設備等。具備間歇式脈沖放電功能，特別適用于pecvd設備鍍膜工藝， 可提高成膜質量。

二、技術特點

• ø 分七檔負載匹配調節，負載適應范圍寬； 
• ø 輸出電壓、電流波形為正弦波，波形光滑，失真??；
• ø 可實現間歇式脈沖功率輸出；
• ø 具有過壓、過流、開路及短路等完善的保護功能；
• ø 具有強抗打弧能力；
• ø 成膜質量好；
• ø 具有并機使用功能。

三、主要技術參數

• ø 輸出功率100w～10kw連續可調；
• ø 輸出頻率：40khz；
• ø 輸出Zui大電壓有效值：1100v；
• ø 輸出Zui大電流有效值：33a；
• ø 負載阻抗范圍：1ω～99ω；
• ø 功率穩定度：優于1.0%；
• ø 輸入電壓：380伏+10%，－15%，三相接地（無中線）；

四、電氣規格｜

• ø 電壓頻率：45~65hz；
• ø 輸入電源過流保護：32a；
• ø 輸出頻率：40khz；
• ø 電源效率：0.86全功率輸出；
• ø 功率因素：0.88全功率輸出；
• ø 輸出功率：10kw；
• ø 負載匹配：七檔10kw。

五、尺寸及重量

• ø 尺寸：長635mmî寬482mmî高177mm；
• ø 重量：40公斤。

湖南匯鑫電力成套設備有限公司系原湖南衡陽市真空機電設備有限公司電源事業部發展而來。        

湖南衡陽真空機電設備有限公司成立于1993年，是國內太陽能真空集熱管鍍膜設備的核心生產制造商。隨著市場的發展需要，為真空集熱管鍍膜設備提供電源的電源事業部獨立出來成立特種電源公司。聯合國內知名高校及科研機構的基礎上，組建技術研發團隊；在消化吸收國際先進的廠家生產技術基礎上，研發出適合我國半導體等行業所需要的中頻電源。

本產品的品牌是AE，型號是40KHZ中頻電源，類型是低頻磁控濺射電源，輸出電流是9（A），輸入電壓是180-230（V），輸出電壓是547（V），輸出功率是60（W），頻率范圍是40kHz±0.01%，工作溫度是水冷，5-30℃，2gpm，產品認證是CCC，加工定制是是